河北凈化廠房只是對廠房的一個總稱,它可以根據(jù)不同級別對應(yīng)不同的行業(yè),比如電子行業(yè)、醫(yī)藥行業(yè)等等,集成電路廠房也在其中,要求凈化哪里做得好呢?
集成電路生產(chǎn)制造清潔廠房對噪音、微振、光照強度等都是有有關(guān)的要求和要求,尤其是震動的操縱,在凈化室的工程建筑總體設(shè)計上就需要有一定的要求。集成電路生產(chǎn)制造是高耗能的產(chǎn)業(yè)鏈,而清潔空調(diào)機組的耗能則占在其中的30%之上,因而環(huán)保節(jié)能安全性的凈化室設(shè)計方案和各種各樣能源收購設(shè)計方案將是將來的發(fā)展前景。
伴隨著集成電路生產(chǎn)技術(shù)的持續(xù)升級,流行大型廠早已進入了納米技術(shù)時期,集成電路生產(chǎn)制造凈化廠房的設(shè)計方案修建和環(huán)保節(jié)能自主創(chuàng)新也必須持續(xù)提高,為制造商品生產(chǎn)制造出示確保。依據(jù)凈化室氣體循環(huán)系統(tǒng)特性能夠?qū)艋曳殖扇N種類:循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)相互配合高效過濾器系統(tǒng)軟件、循環(huán)系統(tǒng)離心風(fēng)機相互配合濕試密封性系統(tǒng)軟件和FFU呼吸系統(tǒng)。種方式在小規(guī)模納稅人低級別要求的凈化室設(shè)計方案中被廣泛運用,針對大規(guī)模的凈化室則存有運作成本費過高、占有室內(nèi)空間過大等缺陷。第二種方式的設(shè)計方案能夠考慮集成電路生產(chǎn)制造凈化室大規(guī)模的要求,但運作成本費較高,而且凈化室風(fēng)力、排風(fēng)量調(diào)整艱難,系統(tǒng)更新更新改造艱難,因而實際操作協(xié)調(diào)能力很低。